?玻璃晶圓襯底基片在半導(dǎo)體技術(shù)中具有多種重要作用?。首先，玻璃晶圓襯底基片為薄膜沉積提供了平坦、純凈、耐高溫的基板，確保半導(dǎo)體材料能夠在穩(wěn)定環(huán)境中均勻成膜?。其次，高質(zhì)量的玻璃晶圓襯底能夠精確控制半導(dǎo)體薄膜的厚度及其在整個表面的均勻性，這對于制造高性能微電子器件至關(guān)重要?。此外，玻璃晶圓襯底具有優(yōu)異的電絕緣性和良好的熱穩(wěn)定性，有利于避免不必要的電氣干擾，并在高溫工藝中保持穩(wěn)定?。
與傳統(tǒng)的有機(jī)襯底相比，玻璃基片具有以下顯著優(yōu)勢：
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